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电子束减速技术

电子束减速技术（BDT）的目的是在低电子束能量时获得高分辨率成像。
BDT 技术 包括样品台的负电压偏置系统和镜筒内的探测器，该探测器在电子减速模式（BDM）下为 SE 探测器，在标准模式下为 BSE 探测器。

TESCAN 2016年 新推出的 Triglav™超高分辨镜筒配置了浸没式物镜和 BDT 技术，镜筒内的高性能探测器，在 BDM 模式下可以同时采集 SE 和 BSE 信号。

 
在 BDM 模式下，在样品台上施加反向电压，电子束到达样品表面前能量降低，可以实现 50 eV 超低着陆能量（手动控制可到 0 eV）。BDM 通过减少镜筒的像差优化束斑，从而实现在低能量下也能获得高分辨率成像。 

低能量电子有利于减少不导电样品的荷电效应，也适合电子束敏感的样品，如集成电路失效分析中横截面的晶体管层、低介电材料和光阻剂。BDM 特别适于超低电子束能量下不镀膜生物样品的成像，且不破坏样品。BDM 模式下，较低的着陆能量也显著提升表面形貌的灵敏度，能得到优异的形貌和成分衬度。
电子束减速技术
1 keV，BDM 模式下的锡球图像：SE（BDM）探测器（上）显示形貌信息并伴有典型的边缘效应；BSE（BDM）探测器（下）显示成分信息。

适用领域和机型

陶瓷及硬质涂层 材料科学
细胞&组织形态学 生命科学
玻璃 材料科学
亚细胞分析 生命科学
显示器 半导体和微电子
TESCAN MIRA SEM