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样品交换仓

样品交换仓是 TESCAN 电镜上的一个选配附件。通过它可以快速地更换样品，而不需要将整个样品室泄真空。
样品交换仓已完全集成到 TESCAN 电子显微镜的自动真空系统中。样品交换仓适用于要求尽可能短时间更换样品的应用，或者样本更换期间不希望 / 不接受低真空环境。
 

突出特点

  • 样品交换仓的设计可以一次最多容纳7个样品，可以容纳样品的最大直径达 100 mm, ，或者最大 4 英寸的“晶圆”片。
  • 适用于需要尽可能短时间更换样品的应用场景。
  • 适用于严格要求在样品交换过程中真空损失最小的应用场景（如 FIB-SEM）。
  • 样品交换仓的使用大大有助于保持样品仓的清洁。
  • 自动和手动可选。
样品交换仓
样品交换仓

适用领域和机型

集成电路的失效分析 半导体和微电子
微机电系统 半导体和微电子
引线焊接 半导体和微电子
TESCAN MIRA SEM
TESCAN VEGA SEM